Физические и химические свойства
В керамической мишени медь-цинк-олово-сера в качестве сырья используются порошки сульфида меди (Cu2S), сульфида цинка (ZnS) и дисульфида олова (SnS2) высокой чистоты, которые полностью измельчаются в шаровой мельнице и равномерно смешиваются в соответствии с требуемыми требованиями. стехиометрическом соотношении и смешанный порошок помещают в форму. После горячего прессования и спекания изготавливается четверичная мишень из меди, цинка, олова и серы (CZTS). Подготовленная мишень CZTS имеет однородный состав, относительную плотность более 90 процентов и хорошие характеристики распыления и в основном используется для подготовки и крупномасштабного производства высокоэффективных и недорогих тонкопленочных солнечных элементов CZTS.
Особенность:
Процесс прост, стоимость низкая, подготовленный целевой материал имеет однородный состав и хорошую компактность и закладывает основу для изготовления тонкопленочного поглощающего слоя солнечных элементов Cu2ZnSnS4 методом магнетронного распыления.
Сопутствующие материалы для керамического напыления
Мишени для распыления оксидов |
Оксид алюминия (Al2O3) |
Четырехокись железа (Fe3O4) |
Никелат лантана (LaNiO3) |
Оксид скандия (Sc2O3) |
Оксид алюминия-цинка (AZO) |
Оксид фтора и олова (FTO) |
Феррит лантана (LaFeO3) |
Титанат стронция (SrTiO3) |
Оксид сурьмы и олова (ATO) |
Оксид галлия (Ga2O3) |
Манганат лантана (LaMnO3) |
Рутенат стронция (SrRuO3) |
Оксид висмута (Bi2O3) |
Оксид галлия-цинка (GZO) |
Оксид магния (MgO) |
Манганат стронция (SrMnO3) |
Титанат висмута (BiTiO3) |
Оксид гадолиния (Gd2O3) |
Оксид молибдена (MoO3) |
Диоксид титана (TiO2) |
Титанат бария (BaTiO3) |
Диоксид гафния (HfO2) |
Оксид ниобия (Nb2Ox) |
Пятиокись титана (Ti3O5) |
Оксид церия (CeO2) |
Оксид гольмия (Ho2O3) |
Оксид никеля (NiO) |
Оксид тантала (Ta2O5) |
Оксид хрома (Cr2O3) |
Оксид индия (In2O3) |
Оксид неодима (Nd2O3) |
Оксид тербия (Tb4O7) |
Оксид кобальта (CoO) |
Оксид индия и олова (ITO) |
Оксид свинца (PbO) |
Оксид тулия (Tm2O3) |
Оксид меди (CuO) |
Оксид индия-цинка (IZO) |
Оксид цинка и олова (ZTO) |
Диоксид ванадия (VO2) |
Оксид меди (Cu2O) |
Оксид индия-галлия-цинка (IGZO) |
Оксид празеодима (Pr6O11) |
Триоксид ванадия (V2O3) |
Оксид эрбия (Er2O3) |
Оксид лантана (La2O3) |
Моноксид кремния (SiO) |
Пятиокись ванадия (V2O5) |
Оксид европия (Eu2O3) |
Оксид лантана, стронция, кобальта (LSCO) |
Диоксид кремния (SiO2) |
Триоксид вольфрама (WO3) |
Триоксид железа (Fe2O3) |
Алюминат лантана (LaAl2O3) |
Оксид самария (Sm2O3) |
Оксид иттрия (Y2O3) |
Оксид иттрия-циркония (YSZ) |
Оксид иттрия, бария, меди (YBCO) |
Оксид цинка (ZnO) |
Оксид циркония (ZrO2) |
Мишени для распыления фторида |
Фторид алюминия (AlF3) |
Фторид диспрозия (DyF3) |
Фторид неодима (NdF3) |
Празеодима фторид (PrF3) |
Фторид иттрия (YF3) |
Фторид бария (BaF2) |
фторид лития (LiF) |
Фторид натрия (NaF) |
Фторид стронция (SrF3) |
Фторид цинка (ZnF3) |
Фторид кальция (CaF2) |
Фторид лантана (LaF3) |
Фторид алюминия-натрия (Na2AlF6) |
Фторид самария (SmF3) |
Фторид иттербия (YbF3) |
Фторид церия (CeF3) |
Фторид магния (MgF2) |
Фторид калия (KF) |
|
|
Нитридные мишени для распыления |
Нитрид алюминия (AlN) |
Нитрид гафния (HfN) |
Нитрид кремния (Si3N4) |
Нитрид титана (TiN) |
Нитрид циркония (ZrN) |
Нитрид бора (BN) |
Нитрид ниобия (NbN) |
Нитрид тантала (TaN) |
Нитрид ванадия (ВН) |
|
Твердосплавные мишени для распыления |
Карбид бора (B4C) |
Карбид ниобия (NbC) |
Карбид тантала (TaC) |
Карбид вольфрама (WC) |
Карбид циркония (ZrC) |
Карбид гафния (HfC) |
Карбид никеля (NiC) |
Карбид титана (TiC) |
Карбид вольфрама, кобальт (WC+Co) |
Карбид ванадия (ВК) |
Карбид молибдена (MoC) |
Карбид кремния (SiC) |
Карбонитрид титана (TiCN) |
|
|
Боридные мишени для распыления |
Диборид хрома (CrB2) |
Борид железа (FeB) |
Борид тантала (TaB) |
Диборид титана (TiB2) |
Диборид гафния (HfB2) |
Гексаборид лантана (LaB6) |
Диборид циркония (ZrB2) |
|
|
|
Мишени для распыления сульфидов |
Сульфид кадмия (CdS) |
Сульфид железа (FeS) |
Сульфид марганца (MnS) |
Сульфид тантала (TaS) |
Сульфид магния (MgS) |
Сульфид меди (CuS) |
Сульфид свинца (PbS) |
Сульфид ниобия (NbS) |
Сульфид вольфрама (WS2) |
Сурьма сульфид (Sb2S3) |
Сульфид церия (Ce2S3) |
Сульфид молибдена (MoS2) |
Сульфид индия (In2S3) |
Сульфид цинка (ZnS) |
|
Мишени для распыления силицида |
Силицид хрома (CrSi) |
Силицид магния (MgSi) |
Силицид тантала (TaSi2) |
Силицид вольфрама (WSi2) |
Силицид циркония (ZrSi2) |
Силицид молибдена (MoSi2) |
Силицид никеля (NiSi) |
Силицид титана (TiSi2) |
Силицид ванадия (VSi) |
|
Селенидные мишени для распыления |
Селенид висмута (Bi2Se3) |
Селенид хрома (CrSe) |
Селенид молибдена (MoSe2) |
Селенид галлия (Ga2Se3) |
Селенид вольфрама (WSe2) |
Селенид меди (Cu2Se) |
Селенид свинца (PbSe) |
Селенид индия (In2Se3) |
Селенид германия (GeSe2) |
Селенид олова (SnSe) |
Селенид кадмия (CdSe) |
Селенид сурьмы (Sb2Se3) |
|
|
|
Мишень для распыления теллурида |
Теллурид кадмия (CdTe) |
Теллурид свинца (PbTe) |
Теллурид германия (GeTe) |
Теллурид германия-сурьмы (GST) |
Теллурид висмута (Bi2Te3) |
Трителлурид сурьмы (Sb2Te3) |
Трителлурид сурьмы (Sb7Te3) |
|
|
|
Антимонидные мишени для распыления |
Антимонид алюминия (AlSb) |
Антимонид индия (InSb) |
Антимонид галлия (GaSb) |
Антимонид цинка (ZnSb) |
Антимонид алюминия-галлия (AlGaSb) |
Составные мишени для распыления сегнетоэлектрических/литиевых батарей |
Оксид лития-кобальта LiCoO2 |
Литий-марганец-никель-оксид LiNi0.5Mn1.5O3 |
Литий-железо-фосфат LiFePO4 |
Богатый литием оксид лития-кобальтаLi(1+X)CoO2 |
Богатый литием манганат литияLi(1+X)Mn2O4 |
Титанат литияLi4Ti5O12 |
Легированный алюминием оксид лития-кобальта AlLiCoO2 |
Манганат лития, легированный алюминием LiMn2O4+Alx |
Литий-титановый фосфатLiTi2(PO4)3 |
Манганат лития LiMn2O4 |
Литий фосфат Li3PO4 |
Литий-кремниевый фосфат LiSiPO4 |
Титанат барияBaTiO3 |
Титанат стронцияSrTiO3 |
Титанат висмутаBiTiO3 |
Лантан, стронций, оксид кобальта LSCO |
Лантан Кальций Марганец Оксид LCMO |
Оксид лития-кобальта LiCo2O4 |
Цирконат свинца ТитанатPZT |
Фосфат лития, легированный оксидом бора Li3PO4:B2O3 |
Литий Титанат Лантана Li0.35La0.57TiO3 |
Лантан Цирконий Литий Оксид LLZO |
Лантана, стронция, оксида марганцаLSMO |
Феррит висмутаBiFeO3 |
Титанат бария-стронция BaSrTiO3 |